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ISSN: 2333-9721
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在N型硅中激光掺金

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Abstract:

用CWCO_2激光器已把淀积到硅片上的金引入到了硅中.硅中金的表面浓度达到4×10~(11)cm~(-3).用SIMS和DLTS技术研究了掺杂行为.

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