%0 Journal Article
%T 在N型硅中激光掺金
%A 傅春寅
%A 鲁永令
%J 半导体学报
%D 1984
%I 
%X 用CWCO_2激光器已把淀积到硅片上的金引入到了硅中.硅中金的表面浓度达到4×10~(11)cm~(-3).用SIMS和DLTS技术研究了掺杂行为.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=4A410E543303CFAA&yid=36250D1D6BDC99BD&vid=94C357A881DFC066&iid=38B194292C032A66&sid=892C6E385D640C1E&eid=377D325742940769&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0