GaAs化学汽相淀积的热力学分析——Ga/AsCl_3/H_2/IG系统

本文对 Ga/AsCl_3/H_2/IG系统进行了热力学计算,计算中考虑了旁路气体的注入和源区反应的不完全性.用流动效率和反应效率可以描述源区反应的不完全性.计算结果揭示了惰性气体-氢气混合载气系统生长的一般特性.