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ISSN: 2333-9721
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Pt/Si和Pd/Si肖特基接触的XPS研究

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Abstract:

用XPS测量了Pt/Si和Pd/Si 肖特基接触界面处的芯态谱和价带谱.界面处有硅化物M_2Si存在,对界面处金属芯态谱随光电子发射角变化的反常现象作了初步探讨.

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