Insb表面损伤层的光谱特性和损伤层厚度的测量

我们测量了InSb表面损伤层的反射光谱随损伤层厚度的变化.利用振子拟合法计算了损伤层的反射光谱,计算结果与测量结果相一致.提出了一种测量InSb损伤层厚度的新方法.