%0 Journal Article
%T Insb表面损伤层的光谱特性和损伤层厚度的测量
%A 张春平
%A 张光寅
%A 常甲辰
%A 商美茹
%A 孙迺寅
%J 半导体学报
%D 1986
%I 
%X 我们测量了InSb表面损伤层的反射光谱随损伤层厚度的变化.利用振子拟合法计算了损伤层的反射光谱,计算结果与测量结果相一致.提出了一种测量InSb损伤层厚度的新方法.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=AD011CF5E32CA692&yid=4E65715CCF57055A&vid=DF92D298D3FF1E6E&iid=0B39A22176CE99FB&sid=6235172E4DDBA109&eid=64963996248CBF47&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0