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ISSN: 2333-9721
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利用离子注入硅及Nd:YAG连续激光退火制备厘米波段雪崩管

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Abstract:

采用离子注入硅及Nd:YAG连续激光退火制备厘米波P~+nn~+结构雪崩二极管.器件输出功率达1.25W,效率达7.7％.与热退火工艺结果进行比较.讨论了将连续激光退火用于制备毫米波雪崩管的有利方面.

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