%0 Journal Article
%T 利用离子注入硅及Nd:YAG连续激光退火制备厘米波段雪崩管
%A 朱美芳
%A 姚德成
%A 刘世祥
%A 石万全
%A 杨丽华
%J 半导体学报
%D 1983
%I 
%X 采用离子注入硅及Nd:YAG连续激光退火制备厘米波P~+nn~+结构雪崩二极管.器件输出功率达1.25W,效率达7.7％.与热退火工艺结果进行比较.讨论了将连续激光退火用于制备毫米波雪崩管的有利方面.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F687326ECD435D80C2A8000547C402C7&yid=A7F20A391020FDEE&vid=E158A972A605785F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=9F6DA927E843CD50&eid=3D9746C06EC12B45&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0