各种光致抗蚀剂的无显影刻蚀特性,

<正> 继A抗蚀剂成功地实现无显影光刻之后,为了进一步扩大该技术的实用范围,并了解其它光刻胶是否同样存在这种效应,我们对不同的光刻胶(包括正性胶和负性胶)进行了研究.通过大量实验发现,在一定条件下它们都具有无显影刻蚀效应.有趣的是负性胶