Controlled Preparation of Porous Silicon as Diffusion Layer for Miniature Fuel Cell
适用于微型燃料电池扩散层的多孔硅的可控制备工艺研究

多孔硅以其多孔结构及大的表面体积比等特点被认为是可在基于MEMS技术的微型燃料电池中代替碳纸、碳布作为扩散层的材料．本文考虑传统碳纸、碳布作为扩散层的要求，并结合多孔硅材料的特点，选用n〈100〉（0．04-0．15Ω.cm）单晶硅进行了多孔硅制备工艺的研究；考察了腐蚀液的浓度、电流密度和氧化处理时间对多孔硅的孔隙率、孔深度及氧化速率的影响，实现了多孔硅的可控制备．孔隙率为40％、孔径为350-700nm、厚度为60μm的多孔硅膜电极经循环伏安测定，在0．5mol／LH2SO4溶液中，表现出与碳纸相近的电活性，显示了潜在的应用价值．