%0 Journal Article
%T Controlled Preparation of Porous Silicon as Diffusion Layer for Miniature Fuel Cell<br>适用于微型燃料电池扩散层的多孔硅的可控制备工艺研究
%A ZHENG Dan
%A TIAN Juan
%A ZHANG Xi-Gui
%A XIA Bao-Jia
%A ZHANG Bao-Hong
%A <br>郑丹
%A 田娟
%A 张熙贵
%A 夏保佳
%A 张宝宏
%J 无机材料学报
%D 2006
%I Science Press
%X 多孔硅以其多孔结构及大的表面体积比等特点被认为是可在基于MEMS技术的微型燃料电池中代替碳纸、碳布作为扩散层的材料．本文考虑传统碳纸、碳布作为扩散层的要求，并结合多孔硅材料的特点，选用n〈100〉（0．04-0．15Ω.cm）单晶硅进行了多孔硅制备工艺的研究；考察了腐蚀液的浓度、电流密度和氧化处理时间对多孔硅的孔隙率、孔深度及氧化速率的影响，实现了多孔硅的可控制备．孔隙率为40％、孔径为350-700nm、厚度为60μm的多孔硅膜电极经循环伏安测定，在0．5mol／LH2SO4溶液中，表现出与碳纸相近的电活性，显示了潜在的应用价值．
%K miniaturized fuel cell
%K diffusion layer
%K porous silicon
%K controllable preparation<br>微型燃料电池
%K 扩散层
%K 多孔硅
%K 可控制备
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=42FC1894FC1A4324&yid=37904DC365DD7266&vid=659D3B06EBF534A7&iid=B31275AF3241DB2D&sid=7264799D7F648D02&eid=40295B54D40AE4B3&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=14