Nanomechanics Properties Research of Anodic Aluminium Oxide Film
多孔氧化铝膜的纳米力学性能研究

采用二次铝阳极氧化技术，制备了高度有序的铝阳极氧化膜（AAO膜），孔径为50nm．利用纳米压缩仪结合纳米压痕仪对不同压缩位移条件下的AAO膜进行了纳米力学测试和卸载后的压痕原位扫描实验．通过测量加载-卸载曲线并用Oliver-Pharr模型分析计算得到，在压缩位移为0、3．3、6．6、9．9μm时，AAO膜的纳米硬度和弹性模量分别为1．49、1．79、1．69、1．55GPa和11．79、12．32、12．82、13．19GPa．由卸载曲线和原位扫描的压痕形貌可以看出，压缩位移为6．6和9．9μm时的压痕在压缩力的作用下发生了明显的塑性变形，因而AAO膜的纳米硬度减小，而弹性模量一直增大．