%0 Journal Article
%T Nanomechanics Properties Research of Anodic Aluminium Oxide Film<br>多孔氧化铝膜的纳米力学性能研究
%A YAO Su-Wei
%A ZHANG Lu
%A ZHANG Wei-Guo
%A ZHANG Zhen-Yu
%A LI Hong-Qi
%A <br>姚素薇
%J 无机材料学报
%D 2006
%I Science Press
%X 采用二次铝阳极氧化技术，制备了高度有序的铝阳极氧化膜（AAO膜），孔径为50nm．利用纳米压缩仪结合纳米压痕仪对不同压缩位移条件下的AAO膜进行了纳米力学测试和卸载后的压痕原位扫描实验．通过测量加载-卸载曲线并用Oliver-Pharr模型分析计算得到，在压缩位移为0、3．3、6．6、9．9μm时，AAO膜的纳米硬度和弹性模量分别为1．49、1．79、1．69、1．55GPa和11．79、12．32、12．82、13．19GPa．由卸载曲线和原位扫描的压痕形貌可以看出，压缩位移为6．6和9．9μm时的压痕在压缩力的作用下发生了明显的塑性变形，因而AAO膜的纳米硬度减小，而弹性模量一直增大．
%K anodic aluminium oxide film (AAO)
%K nanocompression
%K nanoindentation
%K in - situ scanning<br>阳极氧化铝膜(AAO)
%K 纳米压缩
%K 纳米压痕
%K 原位扫描
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=77528128036CF9CD&yid=37904DC365DD7266&vid=659D3B06EBF534A7&iid=38B194292C032A66&sid=FA98B938D085B826&eid=3EE58D91F4253193&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=9