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无机材料学报 1997
Preparation of Si-based Nano-powders from ((CH3)3Si)2NH by CVD
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Abstract:
以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时合成的粉末呈晶须状，ＳｉＣ和Ｓ相共存，以ＳｉＣ相为主，较高温度下合成的粉体颗粒长大成２０－４０ｎｍ，以β－ＳｉＣ相为主伴有α－ＳｉＣ相，颗粒外表
