%0 Journal Article
%T Preparation of Si-based Nano-powders from ((CH3)3Si)2NH by CVD<br>六甲基二硅胺烷(HMDS)为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究
%A JIANG Dongliang
%A LU Zhongqian
%A HUANG Zhengren
%A YAN Dongsheng
%A <br>江东亮
%A 陆忠乾
%A 黄政仁
%A 严东生
%J 无机材料学报
%D 1997
%I Science Press
%X 以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时合成的粉末呈晶须状，ＳｉＣ和Ｓ相共存，以ＳｉＣ相为主，较高温度下合成的粉体颗粒长大成２０－４０ｎｍ，以β－ＳｉＣ相为主伴有α－ＳｉＣ相，颗粒外表
%K CVD
%K nano
%K amorphous
%K crystallization<br>晶化
%K 甲基二硅胺烷
%K 纳米粉体
%K 气相沉积
%K 硅
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=76EBA4C8813A57850924FFC20BEA0954&yid=5370399DC954B911&vid=59906B3B2830C2C5&iid=38B194292C032A66&sid=35E8A259891FB32F&eid=FA3423FC1AE95C4E&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=1&reference_num=12