Phase Structure Development and Composition Analysis of PZT Thin Films Prepared by Metallo-organic Decomposition
MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析

Keywords: PZT thin film,phase transition,composition analysis
锆钛酸铅薄膜,成分分析,相结构,MOD,PZT薄膜

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Abstract:

采用ＭＯＤ工艺制备了ＰＺＴ薄膜，利用ＸＲＤ和ＴＥＭ研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程。制备在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上的ＰＺＴ薄膜，其ＸＲＤ分析显示焦绿石相在６００℃完全转变灾钙钛矿相；

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