%0 Journal Article
%T Phase Structure Development and Composition Analysis of PZT Thin Films Prepared by Metallo-organic Decomposition<br>MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析
%A BAO Ding-Hua
%A WU Xiao-Qing
%A ZHANG Liang-Ying
%A YAO Xi
%A <br>包定华
%A 吴小清
%A 张良莹
%A 姚熹
%J 无机材料学报
%D 1999
%I Science Press
%X 采用ＭＯＤ工艺制备了ＰＺＴ薄膜，利用ＸＲＤ和ＴＥＭ研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程。制备在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上的ＰＺＴ薄膜，其ＸＲＤ分析显示焦绿石相在６００℃完全转变灾钙钛矿相；
%K PZT thin film
%K phase transition
%K composition analysis<br>锆钛酸铅薄膜
%K 成分分析
%K 相结构
%K MOD
%K PZT薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=51B52E3276189FEC&yid=B914830F5B1D1078&vid=F3583C8E78166B9E&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=EFD65B51496FB200&eid=6FBD78E3BAB60869&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=0&reference_num=25