The Etched Capacity for Sol-Gel Derived Silica-Titania Composited Films
溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2复合薄膜的抗刻蚀能力研究

Keywords: film,structure,laser scanning,chemical etch,microan spectrum
薄膜,结构,复合薄膜,抗刻蚀性,溶胶凝胶法

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Abstract:

采用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺制备ＳｉＯ２－ＴｉＯ２复合薄膜，研究在不同温度下薄膜对ＨＦ缓冲溶液的刻蚀能力。薄膜经８００℃热处理的刻速率是２００℃热处理的１／１０００倍，利用这种差异，在薄膜上用激光进行致密化处理，从而形成所需的图形。

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