%0 Journal Article
%T The Etched Capacity for Sol-Gel Derived Silica-Titania Composited Films<br>溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2复合薄膜的抗刻蚀能力研究
%A ZHAI Ji-Wei
%A ZHANG Liang-Ying
%A YAO Xi
%A <br>翟继卫
%A 张良莹
%A 姚熹
%J 无机材料学报
%D 1999
%I Science Press
%X 采用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ工艺制备ＳｉＯ２－ＴｉＯ２复合薄膜，研究在不同温度下薄膜对ＨＦ缓冲溶液的刻蚀能力。薄膜经８００℃热处理的刻速率是２００℃热处理的１／１０００倍，利用这种差异，在薄膜上用激光进行致密化处理，从而形成所需的图形。
%K film
%K structure
%K laser scanning
%K chemical etch
%K microan spectrum<br>薄膜
%K 结构
%K 复合薄膜
%K 抗刻蚀性
%K 溶胶凝胶法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=84529CA2B2E519AC&jid=ABC0063016AF57E1C73EF43C8D2212BD&aid=BB9F60EAB737EB03&yid=B914830F5B1D1078&vid=F3583C8E78166B9E&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=76B5E24D6EC46B4B&eid=205BE674D84A456D&journal_id=1000-324X&journal_name=无机材料学报&referenced_num=3&reference_num=9