Interfacial Product of Direct Copper-Bonded Alumina Substrate
直接敷铜Al2O3陶瓷基板的界面产物研究

直接敷铜Ａｌ２Ｏ３基板已被广泛应用于大功率场合。本文通过Ｃｕ箔表面预氧化生成Ｃｕ２Ｏ的方法引入氧，１０７０℃在Ｃｕ箔和Ａｌ２Ｏ３基板界面上所产生的Ｃｕ－Ｃｕ２Ｏ共晶液体促进了二者的牢固结合，流动氮气氛下保温１ｈ，观察到了明显的界面产物层。ＳＥＭ和ＸＲＤ的分析表明，界面产物相为ＣｕＡｌＯ２。