The effect of substrates on magnetic properties and structure of MnZn ferrite films by alternate deposition
基片对交替溅射制备的MnZn铁氧体薄膜结构和磁性的影响

Keywords: MnZn ferrite,nano-crystalline,soft magnetic properties,magnetic film
MnZn铁氧体，,纳米晶，,软磁性，,磁性薄膜

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Abstract:

使用成分分别为MnFe2O4和ZnFe2O4的靶，使用射频溅射交替沉积制备了成分不同的Mn1-xZnxFe2O4薄膜，沉积薄膜所用基片分别为单晶硅Si（100），氧化的单晶硅SiO2/Si（100）, ZnFe2O4为衬底的单晶硅ZnFe<

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