%0 Journal Article
%T The effect of substrates on magnetic properties and structure of MnZn ferrite films by alternate deposition<br>基片对交替溅射制备的MnZn铁氧体薄膜结构和磁性的影响
%A Zhang Hong
%A Liu Xi
%A Wang Lan-Xi
%A Cao Jiang-Wei
%A Liu Xiao-Xi
%A Wei Fu-Lin
%A <br>张弘
%A 刘曦
%A 王兰喜
%A 曹江伟
%A 刘小晰
%A 魏福林
%J 物理学报
%D 2009
%I 
%X 使用成分分别为MnFe2O4和ZnFe2O4的靶，使用射频溅射交替沉积制备了成分不同的Mn1-xZnxFe2O4薄膜，沉积薄膜所用基片分别为单晶硅Si（100），氧化的单晶硅SiO2/Si（100）, ZnFe2O4为衬底的单晶硅ZnFe<
%K MnZn ferrite
%K nano-crystalline
%K soft magnetic properties
%K magnetic film<br>MnZn铁氧体，
%K 纳米晶，
%K 软磁性，
%K 磁性薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=1DE95970D64F681A4890E25135CD4202&yid=DE12191FBD62783C&vid=9FFCC7AF50CAEBF7&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=645581D859A82197&eid=361262E08A0DE5D0&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0