Molecular dynamics simulation of the structure characteristic of diamond-like carbon films influence by oblique incidence ion-beam-assisted deposition
斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟

采用分子动力学（MD）模拟方法，从原子尺度上研究了离子束辅助沉积（IBAD）类金刚石（DLC）薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型，平均密度和sp3键含量.结果表明，离子束斜入射加强了入射原子的水平动能，从而加强了原子水平迁移；Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大，薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化，对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.