%0 Journal Article
%T Molecular dynamics simulation of the structure characteristic of diamond-like carbon films influence by oblique incidence ion-beam-assisted deposition<br>斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟
%A Kai Hu
%A Li Yun-Chao
%A Guo De-Cheng
%A Li Shuang
%A Li Zhi-Jie
%A <br>开花
%A 李运超
%A 郭德成
%A 李双
%A 李之杰
%J 物理学报
%D 2009
%I 
%X 采用分子动力学（MD）模拟方法，从原子尺度上研究了离子束辅助沉积（IBAD）类金刚石（DLC）薄膜过程中离子束入射角对薄膜结构的影响.重点讨论了不同的离子束入射角所对应的薄膜表面模型，平均密度和sp3键含量.结果表明，离子束斜入射加强了入射原子的水平动能，从而加强了原子水平迁移；Ar离子斜入射时C原子迁移率均比垂直入射大，薄膜密度和sp3键含量都比垂直入射小.不同的离子束入射角随着到达比和入射能的变化，对薄膜结构的影响不同.离子束斜入射时可以得到不同结构的膜.
%K diamond like carbon film
%K incidence angle
%K ion beam assisted deposition
%K molecular dynamics simulation<br>类金刚石薄膜，
%K 入射角，
%K 离子束辅助沉积，
%K 分子动力学模拟
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=2D9EBEB5273F82EEF5E18DB8CD46CBFB&yid=DE12191FBD62783C&vid=9FFCC7AF50CAEBF7&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=363BA3C8196F3BDA&eid=1E368BB3555039EF&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0