Determination of the optical constants of the magnetron sputtered aluminum oxide films from the transmission spectra
基于透射光谱确定溅射Al2O3薄膜的光学常数

基于反应磁控溅射Al2O3薄膜的紫外—可见—近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了Al2O3薄膜在200—1100 nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现反应磁控溅射Al2O3薄膜具有高折射率(1.556— 1.76,测试波长为550 nm)、低吸收和直接能量带