%0 Journal Article
%T Determination of the optical constants of the magnetron sputtered aluminum oxide films from the transmission spectra<br>基于透射光谱确定溅射Al2O3薄膜的光学常数
%A Liao Guo-Jin
%A Luo Hong
%A Yan Shao-Feng
%A Dai Xiao-Chun
%A Chen Ming
%A <br>廖国进
%A 骆红
%A 闫绍峰
%A 戴晓春
%A 陈明
%J 物理学报
%D 2011
%I 
%X 基于反应磁控溅射Al2O3薄膜的紫外—可见—近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了Al2O3薄膜在200—1100 nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现反应磁控溅射Al2O3薄膜具有高折射率(1.556— 1.76,测试波长为550 nm)、低吸收和直接能量带
%K optical constants
%K Swanepoel's method
%K Al2O3 films
%K annealing<br>光学常数
%K Swanepoel方法
%K Al2O3薄膜
%K 热处理
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=638FADDDB4A5596E08C319B0FFC2973F&yid=9377ED8094509821&vid=BFE7933E5EEA150D&iid=38B194292C032A66&sid=AA39C8BA77314C2F&eid=6CCE24D86D03D083&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=37