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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2010 

Influence of annealing on the microstructure and electrochemical properties of B-doped nanocrystalline diamond films
退火对B掺杂纳米金刚石薄膜微结构和电化学性能的影响

Keywords: boron-doped nanocrystalline diamond films,microstructure,electrochemical properties
B掺杂纳米金刚石薄膜
,微结构,电化学性能

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Abstract:

采用热丝化学气相沉积法制备B掺杂纳米金刚石薄膜,并对薄膜进行真空退火处理,系统研究了不同退火温度对B掺杂纳米金刚石薄膜的微结构和电化学性能的影响.结果表明,当退火温度升高到800 ℃后,薄膜的Raman谱图中由未退火时在1157,1346,1470,1555 cm-1处的4个峰转变为只有D峰和G峰,说明晶界上的氢大量解吸附量减少;并且D峰和G峰的积分强度比ID/IG值变为最小,即sp2相团簇

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