Phase transformation and photoluminescence properties of Er silicate films by sol-gel method
Er硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究

溶胶-凝胶法在Si(100)基片上旋涂法制备铒硅酸盐化合物（Er silicate）薄膜.系统研究了烧结温度和烧结时间对Er silicate薄膜相结构、相转变以及光致发光特性的影响.在1000 ℃以下，薄膜晶体结构为Er2O3 晶体和SiO2 非晶的混合物.随着烧结温度增加到1200 ℃，保温时间增加到30 min，薄膜晶体结构转变成(100),(200)和(300)择优取向的Er2SiO5相.