%0 Journal Article
%T Phase transformation and photoluminescence properties of Er silicate films by sol-gel method<br>Er硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究
%A Wang Xing-Jun
%A Dong Bin
%A Zhou Zhi-Ping
%A <br>王兴军
%A 董斌
%A 周治平
%J 物理学报
%D 2010
%I 
%X 溶胶-凝胶法在Si(100)基片上旋涂法制备铒硅酸盐化合物（Er silicate）薄膜.系统研究了烧结温度和烧结时间对Er silicate薄膜相结构、相转变以及光致发光特性的影响.在1000 ℃以下，薄膜晶体结构为Er2O3 晶体和SiO2 非晶的混合物.随着烧结温度增加到1200 ℃，保温时间增加到30 min，薄膜晶体结构转变成(100),(200)和(300)择优取向的Er2SiO5相.
%K luminescence
%K optical films
%K sol-gel method
%K Er silicate<br>发光学
%K 光学薄膜
%K 溶胶-凝胶法
%K 铒硅酸盐
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=1BF1DA695FEDE94B4BDFCA2AFA36BADE&yid=140ECF96957D60B2&vid=6AC2A205FBB0EF23&iid=94C357A881DFC066&sid=2D6C4586EC4133A4&eid=A1EBC8DC34E1DB55&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=12