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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2011 

Initial growth of SrTiO3 on Sr/Si(001) studied by scanning tunneling microscope
Sr/Si界面沉积SrTiO3初始生长阶段的扫描遂道显微术研究

Keywords: pulsed laser deposition (PLD),scanning tunneling microscope (STM),SrTiO3,C54-TiSi2
脉冲激光沉积术(PLD)
,扫描隧道显微镜(STM),SrTiO3,C54-TiSi2

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Abstract:

本文工作利用脉冲激光沉积术(PLD)和超高真空扫描隧道显微术(UHV-STM),研究了在Sr/Si(001)-(2×1)衬底表面上真空室温沉积几个单层SrTiO3薄膜的初始生长过程.经660℃退火处理后,Sr/Si衬底表面上形成了纳米岛状结构.经分析,这些纳米小岛为C49-TiSi2和C54-TiSi2.实验结果表明,在没有氧气的情况下退火,Sr/Si界面无法有效阻止SrTiO3薄膜与Si衬底之间的相互作用.

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