Hydrophobic nature of fluorinated diamond-like carbon films prepared under different radio-frequency power
不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究

以高纯石墨作靶、氩气（Ar）和三氟甲烷（CHF3）为源气体，用反应磁控溅射法在不同射频功率下制备了氟化类金刚石碳（F-DLC）膜，并对其疏水性进行研究.双蒸水液滴与膜表面接触角的测试结果表明，所制备薄膜表面的最大水接触角可达115°左右.通过原子力显微镜获得的薄膜表面AFM图谱、拉曼光谱以及傅里叶变换红外光谱探讨了影响薄膜的疏水性的因素.结果表明，薄膜的疏水性与薄膜的表面粗糙度和表面键结构直接相关，表面粗糙度越大，疏水性越好，但与薄膜中的F含量和sp3/sp2的比值并未呈单调增加或减小的对应关系.射频输入功率影响着薄膜的沉积速率，与薄膜表面粗糙度、薄膜中芳香环单核的比例以及薄膜表面的键结构（F的接入方式）直接相关.