Deposition of orthorhombic boron nitride films by plasma-enhanced pulsed laser deposition
等离子体增强脉冲激光沉积o-BN薄膜

利用等离子体增强脉冲激光沉积系统在Si（100）基底上沉积出了高质量的o-BN薄膜，利用红外光谱（FTIR）、X射线衍射谱（XRD）和原子力显微镜照片对o-BN薄膜进行了表征.通过红外光谱（FTIR）得到o-BN薄膜的红外峰特征峰值为1189cm-1，1585cm-1和1450cm-1；由XRD谱得到o-BN薄膜的（111），（020），（021），（310）和（243）各晶面的衍射峰, 特别是（310）和（243）晶面的衍射峰非常强；通过原子力显微镜照片清楚看到BN薄膜具有尖状突起的表面形貌.