Modulated free carrier absorption characterization of semiconductor wafers by frequency scans at different pump-to-probe separations
半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究

根据调制自由载流子吸收（modulated free carrier absorption，MFCA）检测技术的三维理论模型，采用变间距频率扫描方式测量单晶硅样品的电子输运参数，进行了仿真与实验，对结果进行了分析；通过多参数拟合，获取了测试样品的载流子扩散系数、少数载流子寿命和前表面复合速度.仿真与实验都表明，变间距频率扫描结合多参数拟合，可以提高输运参数的测量精度.