%0 Journal Article
%T Modulated free carrier absorption characterization of semiconductor wafers by frequency scans at different pump-to-probe separations<br>半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究
%A Li Wei
%A Li Bin-Cheng
%A <br>李巍
%A 李斌成
%J 物理学报
%D 2009
%I 
%X 根据调制自由载流子吸收（modulated free carrier absorption，MFCA）检测技术的三维理论模型，采用变间距频率扫描方式测量单晶硅样品的电子输运参数，进行了仿真与实验，对结果进行了分析；通过多参数拟合，获取了测试样品的载流子扩散系数、少数载流子寿命和前表面复合速度.仿真与实验都表明，变间距频率扫描结合多参数拟合，可以提高输运参数的测量精度.
%K 调制自由载流子吸收，
%K 电子输运参数，
%K 变间距频率扫描，
%K 多参数拟合
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=9824C13A001CF8A8812516CA967357AA&yid=DE12191FBD62783C&vid=9FFCC7AF50CAEBF7&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=68D99925C0076508&eid=E707DE8C8A20A3F8&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0