Electromagnetic and microwave properties of discontinuous CoFeB/MgO soft magnetic multilayer films
CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在Co64Fe24B12 0.7 nm)/MgO(0.4 nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4 mΩ·cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ'和虚部μ"在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9-2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中.