%0 Journal Article
%T Electromagnetic and microwave properties of discontinuous CoFeB/MgO soft magnetic multilayer films<br>CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性
%A Ma Qiang
%A Jiang Jian-Jun
%A Bie Shao-Wei
%A Du Gang
%A Feng Ze-Kun
%A He Hua-Hui
%A <br>马 强
%A 江建军
%A 别少伟
%A 杜 刚
%A 冯则坤
%A 何华辉
%J 物理学报
%D 2008
%I 
%X 采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在Co64Fe24B12 0.7 nm)/MgO(0.4 nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4 mΩ·cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ'和虚部μ"在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9-2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中.
%K magnetic nano-granular films
%K permeability spectra
%K electromagnetic properties
%K microwave absorption materials<br>纳米磁性颗粒膜
%K 磁导率频谱
%K 电磁性能
%K 吸波材料
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=BC3F381D2A9051872C9BD7BECEE45E18&yid=67289AFF6305E306&vid=11B4E5CC8CDD3201&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=2FD99021B95E6524&eid=EA1141B27C837C47&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=0