α-SiN:H薄膜的光学声子与VO2基Mott相变场效应晶体管的红外吸收特性
Keywords: 红外吸收特性，,Mott相变，,场效应晶体管，,二氧化钒
Abstract:
从器件构成材料中α-SiN:H，VO2，Al薄膜介电常数弥散特性的Lorentz多谐振模型出发，研究了器件在金属表面等离子体与VO2，特别是α-SiN:H薄膜光学声子共同作用下的红外吸收特性；得到了在不同的光谱范围器件的红外吸收特性随着α-SiN: H钝化层几何厚度的变化关系，与中心工作波长10μm对应的且经过位相修正以后钝化层的几何厚度为λ/4n时的红外吸收光谱、以及VO2的相变对吸收光谱的影响.
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