Investigation on the formation mechanism and diffusion of the electrode metal of oxidized Au/Ni/p-GaN ohmic contact in different alloying time
氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为

用卢瑟福背散射/沟道技术研究了p-GaN上的Ni/Au电极在氧气氛下相同合金温度(500℃)不同合金时间后的微结构演化，以揭示欧姆接触的形成机制.利用背散射随机谱和RUMP模拟程序研究了电极金属之间的互扩散，用沟道谱探测了电极金属中的氧分布.结合不同合金时间下比接触电阻ρc的变化，发现随着合金时间的延长比接触电阻持续降低，在合金时间60 s后降低的速度减慢， Au扩散到GaN的表面，在p-GaN上形成外延结构，O向电极内部扩散反应生成NiO对降低ρ