%0 Journal Article
%T Investigation on the formation mechanism and diffusion of the electrode metal of oxidized Au/Ni/p-GaN ohmic contact in different alloying time<br>氧气氛中p-GaN/Ni/Au电极在相同温度不同合金时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为
%A Ding Zhi-Bo
%A Wang Kun
%A Chen Tian-Xiang
%A Chen Di
%A Yao Shu-De
%A <br>丁志博
%A 王 坤
%A 陈田祥
%A 陈 迪
%A 姚淑德
%J 物理学报
%D 2008
%I 
%X 用卢瑟福背散射/沟道技术研究了p-GaN上的Ni/Au电极在氧气氛下相同合金温度(500℃)不同合金时间后的微结构演化，以揭示欧姆接触的形成机制.利用背散射随机谱和RUMP模拟程序研究了电极金属之间的互扩散，用沟道谱探测了电极金属中的氧分布.结合不同合金时间下比接触电阻ρc的变化，发现随着合金时间的延长比接触电阻持续降低，在合金时间60 s后降低的速度减慢， Au扩散到GaN的表面，在p-GaN上形成外延结构，O向电极内部扩散反应生成NiO对降低ρ
%K GaN
%K Rutherford backscattering/channeling
%K ohmic contact<br>GaN，
%K 卢瑟福背散射/沟道，
%K 欧姆接触
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=E3EA114F1D8C37F9AEE6D603F762022A&yid=67289AFF6305E306&vid=11B4E5CC8CDD3201&iid=E158A972A605785F&sid=6070D5F75410BA41&eid=3694286FAF8D37E3&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=13