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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2009 

The threshold voltage of SiC Schottky barrier source/drain MOSFET
SiC肖特基源漏MOSFET的阈值电压

Keywords: silicon carbide,Schottky contact,threshold voltage
碳化硅,
,肖特基接触,,阈值电压

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Abstract:

SiC肖特基源漏MOSFET的阈值电压不同于传统的MOSFET的阈值电压.在深入分析工作机理的基础上,利用二维模拟软件ISE提取并分析了器件的阈值电压.对SiC肖特基源漏MOSFET的阈值电压给出物理描述,得出当源极载流子主要以场发射方式进入沟道,同时沟道进入强反型状态,此时的栅电压是该器件的阈值电压.

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