全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...
物理学报  2006 

Molecular dynamics simulation of the growth and structural properties of ultra-thin diamond-like carbon films
超薄类金刚石膜生长和结构特性的分子动力学模拟

Keywords: DLC film,molecular dynamics simulation,sp3 hybridization fraction
DLC膜
,分子动力学模拟,sp3杂化比例

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

利用分子动力学模拟方法研究了2—3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程. 分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性,如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等,计算结果和现有的实验结果基本一致. 不同入射原子能量对结构特性进而对薄膜性能有重要影响,入射原子能量在20—60eV时,薄膜可以获得最优性能. 载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提,稳定的中间区域对于保证薄膜优良的力学性质是必需的.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133