%0 Journal Article
%T Molecular dynamics simulation of the growth and structural properties of ultra-thin diamond-like carbon films<br>超薄类金刚石膜生长和结构特性的分子动力学模拟
%A Ma Tian-Bao
%A Hu Yuan-Zhong
%A Wang Hui
%A <br>马天宝
%A 胡元中
%A 王慧
%J 物理学报
%D 2006
%I 
%X 利用分子动力学模拟方法研究了2—3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程. 分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性，如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等，计算结果和现有的实验结果基本一致. 不同入射原子能量对结构特性进而对薄膜性能有重要影响，入射原子能量在20—60eV时，薄膜可以获得最优性能. 载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提，稳定的中间区域对于保证薄膜优良的力学性质是必需的.
%K DLC film
%K molecular dynamics simulation
%K sp3 hybridization fraction<br>DLC膜
%K 分子动力学模拟
%K sp3杂化比例
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=F333D60E38CD517F&yid=37904DC365DD7266&vid=E514EE58E0E50ECF&iid=B31275AF3241DB2D&sid=934616154FBBE78A&eid=26575C75E717EF55&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=16