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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2005 

Theoretical study of infrared emissivity of indium tin oxide films
ITO导电膜红外发射率理论研究

Keywords: infrared emissivity,ITO film,theoretical calculation,sheet resistance
红外发射率,
,ITO薄膜,,理论计算,,方块电阻

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Abstract:

根据红外辐射理论和薄膜光学原理计算了高品质ITO(indium tin oxide)导电膜的红外发射 率,其理论曲线与实测曲线基本符合. 并得出方块电阻小于30Ω时,ITO膜在红外波段8—14μ m的平均红外发射率理论值小于0.1.实际制备方块电阻小于10Ω的ITO膜具有优良的红外隐身 性能. 讨论了高品质ITO膜具有低红外发射率的物理机理,并提出了低红外发射率临界方块电 阻值,这有利於理论研究和工艺制备红外隐身ITO膜.

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