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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2006 

Luminescence and optical constant of ZnSe/SiO2 composite thin films
ZnSe/SiO2复合薄膜光学常数与荧光光谱的研究

Keywords: ZnSe/SiO2 composite thin films,optical properties,ellipsometry,lum inescence
ZnSe/SiO2复合薄膜,
,光学性质,,椭偏光度法,,荧光光谱

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Abstract:

采用溶胶-凝胶工艺与原位生长技术,制备了ZnSe/SiO2复合薄膜.X射线衍射分 析表明薄膜中ZnSe晶体呈立方闪锌矿结构.X射线荧光分析结果显示薄膜中Zn与Se摩尔比为1 ∶1.01—1∶1.19.利用场发射扫描电子显微镜观察了复合薄膜的表面形貌,结果表明复合薄 膜表面既存在尺寸约为400nm的ZnSe晶粒,也存在尺寸小于100nm的ZnSe晶粒.利用椭偏仪测 量了薄膜椭偏角Ψ,Δ与波长λ的关系,采用Maxwell-Garnett有效介质理论对薄膜的光学 常数、厚度、气孔率、ZnS

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