高温处理对CNx薄膜晶化的影响

利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜，然后在高温下、常压Ｎ气氛中进行热处理，利用ＤＴＡ，ＸＲＤ和Ａｕｇｅｒ研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化．实验结果表明：在１１８６℃附近出现了晶化现象，高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变，在ＸＲＤ图谱上出现αＣ３Ｎ４衍射峰．Ａｕｇｅｒ实验结果表明膜中出现富Ｃ，Ｓｉ，Ｎ的区域