%0 Journal Article
%T 高温处理对CNx薄膜晶化的影响
%A 肖兴成
%A 江伟辉
%A 田静芬
%A 宋力昕
%A 胡行方
%J 物理学报
%D 2000
%I 
%X 利用直流磁控溅射制得非晶态氮化碳膜，然后在高温下、常压Ｎ气氛中进行热处理，利用ＤＴＡ，ＸＲＤ和Ａｕｇｅｒ研究晶化前后氮化碳成分、结构以及键态的变化．实验结果表明：在１１８６℃附近出现了晶化现象，高温晶化处理可以促进无定形氮化碳向晶态转变，在ＸＲＤ图谱上出现αＣ３Ｎ４衍射峰．Ａｕｇｅｒ实验结果表明膜中出现富Ｃ，Ｓｉ，Ｎ的区域
%K 高温处理
%K 氮化碳薄膜
%K 晶化
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=74C9781B29F7986AADF6F5491F262C6A&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A3781E88AB1776F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=DABEF202280E7EF1&eid=5BC9492E1D772407&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=7