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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2003 

Study of the current-voltage characteristics of n-on-p junction fabricated by pr oton-implanted molecular beam epitaxial Hg1-xCdxTe
质子注入MBE碲镉汞n-on-p结性能研究

Keywords: current-voltage characteristic,HgCdTe film,proton implantation,p- n junction
I-V特性
,碲镉汞薄膜,质子注入,p-n结

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Abstract:

基于中波响应波段的分子束外延碲镉汞薄膜材料成功制备出不同质子注入剂量的大光敏元(5 00μm×500μm)的n-on-p结构的p-n结,并对相应的p-n结的电流-电压(I-V)特性进行 了研究.质子注入剂量为2×1015cm-2时R0A达312.5Ω ·cm2,低温热处理后达490Ω·cm2.

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