SURFACE MORPHOLOGY AND GROWTH MECHANISM OF THE Al FILMS DEPOSITED ON LIQUID SURFACES
沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构

研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌.与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比，两种铝薄膜均属颗粒结构，但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀，表面起伏较大等特点，而且在该铝薄膜边缘的下表面，有一明显的波纹状楔型结构，其斜率仅为10-4—10-5.实验结果表明：这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的.此外对样品的晶态也进行了研究.