%0 Journal Article
%T SURFACE MORPHOLOGY AND GROWTH MECHANISM OF THE Al FILMS DEPOSITED ON LIQUID SURFACES
沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构
%A TAO XIANG-MING
%A ZENG YAO-WU
%A FENG CHUN-MU
%A JIAO ZHENG-KUAN
%A YE GAO-XIANG
%A
陶向明
%A 曾耀武
%A 冯春木
%A 焦正宽
%A 叶高翔
%J 物理学报
%D 2000
%I
%X 研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌.与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比,两种铝薄膜均属颗粒结构,但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀,表面起伏较大等特点,而且在该铝薄膜边缘的下表面,有一明显的波纹状楔型结构,其斜率仅为10-4—10-5.实验结果表明:这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的.此外对样品的晶态也进行了研究.
%K aluminum thin film
%K liquid substrate
%K microstructure
铝薄膜,
%K 液体衬底,
%K 微观结构
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=04BEF08A10E98AA3&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A3781E88AB1776F&iid=708DD6B15D2464E8&sid=A546221D94E329E5&eid=7A4D490451ECA9E5&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=1&reference_num=2