Si∶H∶O薄膜的室温强紫外光致发光

用等离子体增强辉光放电法制成a-Si∶H∶O薄膜，未经任何后处理过程，观察到峰值分别位于340—370，400—430以及740nm的三个光致发光(PL)带.这种紫外光发射既强又稳定，其强度与薄膜中的氧含量紧密相关，而后者可通过薄膜淀积过程中施加在其衬底上的直流偏压进行控制.前两个PL峰来源于a-Si∶H∶O中与氧有关的色心，而后一个PL峰则来源于嵌入a-Si∶H∶O中纳米硅晶粒的量子尺寸效应和晶粒表面的色心两方面的作用.